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日本Microphase 電子束蒸發(fā)系統(tǒng) EBES

全球?qū)I(yè)的沉積設備制造商，為各個領域的客戶提供完善的薄膜沉積解決方案：電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)、超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)、分子束外延MBE、有機分子束沉積OMBD、等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng)PECVD/ICP Etcher、電子回旋共振等離子體增強化學氣相沉積、離子泵等。

日本Microphase 電子束蒸發(fā)系統(tǒng) EBES(圖1)

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