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  • 安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT
安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT

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  • AZ?40 XT的應(yīng)用始于15-30 μm，在這個(gè)厚度范圍時(shí)，由于N2脫氣和再水化延遲時(shí)間，使用常規(guī)正性光刻膠的光刻工藝變得非常耗時(shí)，而AZ?40 XT可以避免這個(gè)問(wèn)題 。即使對(duì)于非常大的光刻膠膜厚度，AZ?40 XT也只需要很短的軟烘烤時(shí)間，不會(huì)有再水化延遲，由于其化學(xué)放大作用，曝光劑量非常小，顯影速度快。 因此，與傳統(tǒng)的厚型光刻膠相比，AZ?40 XT的加工速度要快得多。

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安智AZ 正性光刻膠厚膠 40XT(圖1)


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