適用于3英寸晶圓的劃片
劃片機 100是一款獨特的設備,設計用于劃分精密模具,例如GaAs和硅芯片。劃片機 100非常靈活,使用劃線和斷裂順序,使成品模具保持清潔,不受損壞。 在斷開模式期間,當線性刀升高以沿著芯線斷裂時,劃片機 100使用聚酯薄膜來保持模具。薄膜可防止模具受到污染或壓力。所有參數(shù)均由控制鍵盤設定,設備堅固耐用,無振動,操作簡單,無需過多培訓。
磨削頭
? Z軸驅(qū)動,可調(diào)節(jié)角度
?可調(diào)節(jié)劃線力從3gr到50gr; 恒重
?金剛石工具:可調(diào)節(jié)角度和旋轉(zhuǎn)
?刀具偏置,十字準線
晶圓
?晶圓片直徑3''
?晶粒尺寸:最小200μm,方形最大10mmx10mm
?晶圓厚度:100μm及以上
?手動旋轉(zhuǎn)90度
?通過微米螺絲旋轉(zhuǎn)對準
?X Y軸/分辨率1μm
?通過漸進式操縱桿控制運動
視覺系統(tǒng)
?光學放大倍率(1至4倍),與其他應用兼容
?校準:可編程區(qū)域/手動
?TFT監(jiān)視器17'和CCD彩色高清攝像機
?目標發(fā)生器
?LED照明
斷路器
?斷路模式:操作員控制或自動
?斷開模式:使用頂部聚脂薄膜表面和底部切割器
?聚酯薄膜:可清除以避免污染
?目標發(fā)生器
?LED照明
參數(shù)
?步驟指數(shù)
?Y劃線速度從0.1至20 mm / sec
?劃線長度可編程
?重復劃線
?劃線數(shù)量
?元件編號
?觸地速度
?切割速度
技術(shù)規(guī)格
功率:100 / 230VAC,500watt
氣壓:70psi
真空:60%
尺寸:650x700x500mm(26''x28''x20'')
重量:70kgr。