快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；