德國(guó)Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī)
基本設(shè)備:。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm。腔室容積：約35升。供電電源：230V/16A氣源:。3個(gè)質(zhì)量流量控制器（MFCs）控制系統(tǒng):。PCCE控制系統(tǒng)（Microsoft Windows XPe）發(fā)生器:。頻率：40KHz, 功率 0-500W13.56MHz, 功率 0-300W。直流偏置電源或單極性脈沖，最大功率300W，最大電壓600V，直流電。發(fā)生器為 0-100% 無(wú)級(jí)可調(diào)型
真空腔室:。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩，直徑315MMx高500MM真空泵:。規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過(guò)濾器的需要）濺射源:。1個(gè)濺射源2"-3"+擋板（可為反應(yīng)過(guò)程選配排煙管和進(jìn)氣口）基材支架:。直徑140MM（可選擇旋轉(zhuǎn)型，基材加熱器，基材冷卻裝置）?？汕袚Q為等離子預(yù)處現(xiàn)的電極（清洗，活化，蝕刻）壓力測(cè)量:。Pirani其它選項(xiàng):備件套件，壓力計(jì)，腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，氣瓶，減壓器，加熱板，溫度顯示器，加熱型腔室，F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件，試墨水，氧氣發(fā)生器，慢速通風(fēng)裝置，慢速抽吸裝置，TEM樣品架法蘭，維護(hù)/服務(wù)，當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件，現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)，可應(yīng)需求提供的其它選項(xiàng)。
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