德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機
基本設備:。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm。腔室容積：約35升。供電電源：230V/16A氣源:。3個質量流量控制器（MFCs）控制系統(tǒng):。PCCE控制系統(tǒng)（Microsoft Windows XPe）發(fā)生器:。頻率：40KHz, 功率 0-500W13.56MHz, 功率 0-300W。直流偏置電源或單極性脈沖，最大功率300W，最大電壓600V，直流電。發(fā)生器為 0-100% 無級可調型
真空腔室:。硼硅玻璃材質的玻璃罩，直徑315MMx高500MM真空泵:。規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）濺射源:。1個濺射源2"-3"+擋板（可為反應過程選配排煙管和進氣口）基材支架:。直徑140MM（可選擇旋轉型，基材加熱器，基材冷卻裝置）?？汕袚Q為等離子預處現(xiàn)的電極（清洗，活化，蝕刻）壓力測量:。Pirani其它選項:備件套件，壓力計，腐蝕性氣體設計結構，氣瓶，減壓器，加熱板，溫度顯示器，加熱型腔室，F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件，試墨水，氧氣發(fā)生器，慢速通風裝置，慢速抽吸裝置，TEM樣品架法蘭，維護/服務，當?shù)卣Z言的文件，現(xiàn)場安裝，包括培訓，可應需求提供的其它選項。