德國Diener 電鏡專用等離子清洗機Femto
Diener電鏡專用等離子清洗機
用途：
主要用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染，防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區(qū)分析造成誤判。還可以利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發(fā)射掃描電鏡和場發(fā)射透射電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面，不會改變樣品元素成份和表面結(jié)構(gòu)特征。
主要技術(shù)參數(shù)：
1. 可對多孔碳膜進行高效且無破壞的清洗，提高樣品在低電壓下的成像能力，在化學微量分析時提高其精度
2. 無油真空系統(tǒng)：泵體部分由多級隔膜泵和超凈音分子泵組成，在保證真空度的同時，可在兩分鐘之內(nèi)達到抽真空和放氣過程，整個清洗過程在4分鐘內(nèi)可以完成
3. 可清洗標準透射電鏡樣品桿
4. 可清洗多孔碳膜
5. 清洗時間：普通污染樣品小于2分鐘，重度污染樣品小于10分鐘
6. 重現(xiàn)性：可以自動記錄下同類產(chǎn)品清洗的條件，下次清同類產(chǎn)品時可以樣條件進行
技術(shù)規(guī)格：
| 控制方式 | 手動控制 |
| 發(fā)生器 | 40KHz,0~100W |
| 腔體材質(zhì) | 高硼硅玻璃 |
| 腔體尺寸 | Dia.90*L280mm |
| 氣路 | 單路 |
| 清清時間 | 旋鈕式計時器0~99hour |
| 壓力控制范圍 | 0~2mbar |
| 外型尺寸 | W345*D420*H211mm |
| 電源電壓 | 單相AC230V，16A |
| 真空泵 | 排氣速度4m3/hour,極限真空度0.5Pa |
| 選配 |
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| 發(fā)生器 | 2.45GHz和13.56MHz |
| 腔體材質(zhì) | 石英玻璃 |
| 氣路 | 雙路 |
| 計時器 | 數(shù)字式計時器 |
| 減壓閥 | 配專用氣路接口 |
| 鋼瓶 | 10L
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